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FPD Photomask缺陷检查装置

简要描述:LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。

  • 产品型号:LODAS™ – LI系列
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2024-01-19
  • 访 问 量:463

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    详细介绍

    列真株式会社自创业以来,秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术,专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。


    特征:

    • A面、B面同时检查

    • 可支持G10、G8、G6尺寸

    • 用微分干涉显微镜判断、分析表面和背面缺陷

    • 检查对象:FPD Photomask Substrate、Cr、Resist Blanks

    • 检查项目:表面和背面颗粒、内部缺陷


    列真公司检查装置的维护、修理

    • 定期支持装置安装完成后的性能维持。

    • 24小时电话对应,全年无休的安心支持。

    • 认真对待客户新的要求。

    • 召开技术研讨会和充实各种手册,让顾客能够自行维护和更换零件。

    • 提供HDD、激光光源等消耗品的免费诊断服务。


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