Filmetrics 3D光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。