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当前位置:首页>产品中心>3D形貌仪/白光干涉轮廓仪>晶圆形貌和参数检测

  • PLS-F1002晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机

    晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机使用高精度高速红外干涉点传感器实现晶圆的非接触式测量,结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量,该系统适用于晶圆多种材质的晶圆,包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以实现的尺寸与结构测量内容包括: 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 测试)。

    更新时间: 2024-03-19
    型号: PLS-F1002
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 1923
  • PLS-F1000/F1002晶圆几何形貌及参数自动检测机

    晶圆几何形貌及参数自动检测机PLS- F1000/ F1002 是一款专门测量晶圆厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等参数的自动晶圆形貌检测及分选机。

    更新时间: 2024-03-19
    型号: PLS-F1000/F1002
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 2182
  • PLS-F1000晶圆几何形貌测量及参数自动检测机

    晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量,结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量,该系统适用于晶圆多种材质的晶圆,包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以实现的尺寸与结构测量内容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 测试)。

    更新时间: 2024-03-19
    型号: PLS-F1000
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 2773
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